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澳大利亚BluGlass与爱思强合作整合并评估RPCVD技术中山

发布时间:2019-08-24 15:37:07

据外媒报道,澳大利亚BluGlass公司正在与德国的沉积设备制造商Aixtron (爱思强)合作,以评估BluGlass的RPCVD(远程等离子体化学气相沉积)技术。

BluGlass选择了Aixtron的系统,将RPCVD扩展到批量生产的能力,首次集成将在BluGlass的悉尼Silverwater工厂进行。据悉,BluGlass的RPCVD技术可实现III-V氮化物材料的低温沉积,从而有可能提高器件的性能。

BluGlass的总经理Giles Bourne表示,“我们非常高兴获得爱思强对我们这一重大扩展项目的支持”,“这是展示RPCVD批量生产可行性的重要一步”。

爱思强集团创新官Ken Teo博士说,“在爱思强,我们一直在努力将新技术引入我们的平台”,“我们希望探索RPCVD技术在氮化物层低温沉积方面的潜力,这可能为光电/电子设备开辟新的可能性;我们期待与BluGlass合作,整合RPCVD并评估该技术。”

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